Technology Data · No.15
주요 반도체용 특수가스의 종류 및 특성
2005-06-09
주요 반도체용 특수가스의 종류 및 특성
| 종류 | 몰중량 | 냄새 | 공기중 발화력(%) | 독성(ppm) | 부식성 |
|---|---|---|---|---|---|
| SiH₄ | 32.118 | 불쾌한 냄새 | 자연발화 1.35~ | 5 | × |
| SiF₄ | 104.08 | 자극적 냄새 | 비연소성 | 2.5(㎎F)/㎥ | ○ |
| PH₃ | 34 | 고기썩는 냄새 | 자연발화 1.32~ | 0.3 | × |
| BF₃ | 67.82 | 자극적 냄새 | 비연소성 | 0.3 | ○ |
| NF₃ | 71 | 무취 | 지연성 | 10 | × |
| SF₆ | 146.05 | 무취 | 비연소성 | 1000 | × |
| WF₆ | 279.84 | 자극적 냄새 | 비연소성 | 2.5(F)/㎥ | ○ |
| HCl | 36.46 | 자극적 냄새 | 비연소성 | 5 | ○ |
| C₂F₆ | 138.012 | 무취 | 비연소성 | - | × |
| ClF₃ | 92.45 | 불쾌한 냄새 | 지연성 | 0.1 | ○ |
| NH₃ | 17.03 | 자극적 냄새 | 지연성 15.5~27 | 25 | ○ |
Silicon Precursor Gases
Dichlorosilane (SiH₂Cl₂), Disilane (Si₂H₆), Germane (GeH₄), Germanium Tetrafluoride (GeF₄), Methylsilane (SiH₃CH₃), Silane (SiH₄), Silicon Tetrachloride (SiCl₄), Silicon Tetrafluoride (SiF₄), Trichlorosilane (SiHCl₃)
Dopant Gases
Arsine (AsH₃), Boron Trifluoride (BF₃), Boron-11 Trifluoride (¹¹BF₃), Diborane (B₂H₆), Phosphine (PH₃), Trimethylboron (B(CH₃)₃)
Atmospheric Gases
Argon (Ar), Helium (He), Hydrogen (H₂), Nitrogen (N₂), Oxygen (O₂), Xenon (Xe)
Reactant Gases
Ammonia (NH₃), Carbon Dioxide (CO₂), Carbon Monoxide (CO), Nitrous Oxide (N₂O), Sulfur Dioxide (SO₂), Tungsten Hexafluoride (WF₆)
Etchant Gases
Boron Trichloride (BCl₃), Chlorine (Cl₂), Chlorine Trifluoride (ClF₃), CF₄, CHF₃, CH₂F₂, CH₃F, C₂F₆, C₂HF₅, C₃F₈, C₄F₈, Hydrogen Bromide (HBr), Hydrogen Chloride (HCl), Hydrogen Fluoride (HF), Nitrogen Trifluoride (NF₃), Sulfur Hexafluoride (SF₆)