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Semicinduct Gas
 
 
Boron Group | CVD¿ë°¡½º | Halogen, Halogenide | Halogeno-Hydrocarbon | Silicon Group | µµÇÎ¿ë °¡½º | ¾ÖĪ/Å©¸®´×¿ë °¡½º
 
CVD¿ë°¡½º
 
Á¦¸ñ ¾øÀ½

°¡½º¸í
Name of Gas

¼øµµ(%)

NH3
¾Ï¸ð´Ï¾Æ

99.999

CH4
¸Þź

99.9995

N2O
¾Æ»êÈ­Áú¼Ò

99.999

WF6
À°ºÒÈ­ÅÖ½ºÅÙ

99.999

MOF6
À°ºÒÈ­¸ô¸®ºêµ§

99.95