가스명
Name of Gas

순도(%)

SiH4
모노실란

99.9999
(SiH4+H2)

Si2H6
디실란

99.99

SiCI4
테트라클로로실란

99.9999

SiH2CI2
디클로로실란

99

SiF4
테트라플루오르실란

99.999

※ 기타 : SiH2F2, SiHF3, Si(CH3)4,(CH3)2SiH2, CH3SiH3, (CH3)3SiH 등