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Semicinduct Gas
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Halogeno-Hydrocarbon
Halogeno-Hydrocarbon
CHF
3
3불화메탄
Trifluoromethane
CF
4
4불화메탄
Tetrafluoromethane
C
2
F
6
6불화에탄
Hexafluoroethane
C
3
F
8
8불화프로판
Perfluoropropane
C
4
F
8
8불화시크로부탄
Octafluorocyclobutane
CHCl
3
클로로폼
Chloroform
