가스명
Name of Gas

순도(%)

HCI
염화수소

99.999

CI2
염소

99.999

BCI3
삼염화붕소

99.999

CCI4
사염화탄소

99.999

NF3
삼불화질소

99.99

SF6
육불화황

99.999

CF4
사불화탄소

99.999

CHF3
삼불화메탄

99.999

C2F6
육불화 에탄

99.999